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微小(xiǎo)氣體流(liú)量計FS4001
産(chǎn)品時間(jian):2025-12-01
簡要描(miáo)述:
微小(xiao)氣體流(liu)量計FS4001專(zhuān)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(chéng)控制而(ér)設計的(de)。這一系(xi)列傳感(gǎn)器均采(cǎi)用本公(gōng)司自主(zhu)研發的(de)微機電(diàn)♍系統(MEMS)流(liú)量傳感(gan)芯片來(lái)制作,适(shì)用于各(gè)類清潔(jie)氣體。*的(de)封裝技(jì)術使之(zhi)可用于(yú)各類管(guǎn)徑,成本(ben)低、易安(an)裝、不需(xu)要溫度(dù)壓力補(bu)償,可替(ti)代容積(jī)式或壓(yā)差式的(de)傳統流(liú)量傳感(gǎn)器。
微小(xiao)氣體流(liú)量計FS4001
産品(pin)簡介:
FS4001
系列(liè)小流量(liàng)氣體質(zhì)量流量(liang)傳感器(qì)是廣州(zhōu)迪川儀(yi)㊙️器儀表(biao)有限公(gong)司專門(mén)爲各類(lei)小流量(liang)氣體的(de)測量和(hé)過🚶程控(kòng)制而設(shè)計的。這(zhè)一系列(liè)傳感器(qì)均采用(yòng)本公司(si)自主研(yan)發㊙️的微(wei)機電系(xì)統(
MEMS
)流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuò),适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lei)管徑,成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(li)補償,可(ke)替代容(rong)積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。
微(wēi)小氣體(tǐ)流量計(ji)FS4001
産(chǎn)品特點(diǎn):
-
傳(chuán)感器靈(ling)敏度高(gāo)
,
有(you)極小的(de)始動流(liú)量
-
傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhi)量流量(liang)計量
,
無需(xu)溫度壓(ya)力補償(cháng)
,
保(bao)證了傳(chuán)
-
感(gǎn)器的高(gao)精度計(jì)量
-
在單個(ge)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(cheng)
,
使(shi)傳感器(qì)的量程(cheng)比大大(dà)提高
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傳感(gan)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
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全量(liang)程高穩(wěn)定性
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全量(liang)程高精(jing)度和優(you)良的重(zhòng)複性
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低功(gong)耗
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低壓損(sun)
-
響(xiang)應時間(jiān)快
主要(yào)參數:
FS4001系(xi)列微小(xiao)流量計(ji)
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性(xìng)能參數(shù) |
FS4001 |
單(dan)位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量(liàng)程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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|
重複(fu)性 |
0.25 |
% 讀數 |
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零點(dian)輸出飄(piāo)移 |
±30 |
mV |
|
|
輸出飄(piāo)移 |
±0.12 |
%/oC |
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|
響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
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工作電(diàn)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fāng)式 |
線性, RS232/ 模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc |
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大流(liu)量壓損(sǔn) |
350 |
300 |
pa |
|
大(da)工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工作溫(wen)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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|
存儲溫(wen)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH (無結冰(bing)、無凝露(lu)) |
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機(jī)械接口(kǒu) |
可(kě)拆式軟(ruǎn)管接頭(tou) |
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校(xiào)準方式(shi) |
空(kong)氣(或其(qi)他氣體(tǐ)), 20oC , 101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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