氣(qì)體檢測(ce)/測漏流(liú)量計
産(chan)品簡介(jie)：
FS4001系列小(xiao)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuan)感器是(shi)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qi)🐪體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuan)🔞感器⛱️均(jun)采📐用本(ben)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yú)各類清(qing)💃潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各類(lèi)管徑🥵，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(li)✍️補償，可(kě)替代容(rong)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)⛱️流量傳(chuán)感器。
氣(qì)體檢測(ce)/測漏流(liú)量計産(chan)品特點(dian)：
- 傳感器(qì)靈敏度(dù)高,有極(ji)小的始(shǐ)動流量(liàng)
- 傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhi)量流量(liang)計量,無(wu)需溫度(dù)壓力🔆補(bu)償,保👣證(zheng)🔞了傳
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xian)了多傳(chuan)感器集(ji)成,使傳(chuan)感器的(de)量程💁比(bǐ)大大提(tí)高
- 傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
- 全(quán)量程高(gao)穩定性(xìng)
- 全量程(cheng)高精确(què)度和優(you)良的重(zhòng)複性
- 低(di)功耗
- 低(dī)壓損
- 響(xiǎng)應時間(jian)快
主要(yào)參數：
|
性(xìng)能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
|
|
通(tōng) 徑 |
1.0 |
mm |
|
|
30, 100, 200 |
SLPM |
||
|
量程(chéng)比 |
2132132132131231312100:1 |
|
|
|
精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
|
|
重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
|
|
零(líng)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
|
|
±0.12 |
%/oC |
||
|
響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
||
|
輸(shū)出方式(shi) |
線性，RS232/模(mó)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
|
|
|
zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
zui大(dà)工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工作(zuo)溫度 |
oC |
||
|
存(cún)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
|
|||
|
機械(xie)接口 |
可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou) |
|
|
|
校準方(fang)式 |
空氣(qì)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
|
|
|
重(zhong)量 |
15 |
g |
|
86-020-85628533
•